نقش عملیات حرارتی در استحاله فازی و تغییر ویژگی های الکترونیکی فیلم‌های سیلیکون

Authors

شاهرخ آهنگرانی سازمان پژوهش‌های علمی و صنعتی ایران، پژوهشکده مواد پیشرفته و انرژی‌های نو، تهران، ایران

میثم زرچی سازمان پژوهش‌های علمی و صنعتی ایران، پژوهشکده مواد پیشرفته و انرژی‌های نو، تهران، ایران

Abstract:

فیلم‌هایی از سیلیکون آمورف به روش لایهنشانی فیزیکی فاز بخار به کمک پرتو الکترونی (EB-PVD) ایجاد شد. فرآیند لایهنشانی در شرایط خلأ بالا (torr 6-10) که منجر به تشکیل یک پوشش آمورف البته با ضخامت‌های کنترل‌شده انجام شد. پس از نمونه‌سازی، نمونه‌ها در دمای oC800 و در محیط گاز خنثی تحت شرایط عملیات حرارتی قرار گرفت و ویژگی‌های ساختاری و الکتریکی آن قبل و بعد از عملیات حرارتی مورد تحلیل قرار گرفت. نتایج حاصل از میکرورامان نشاندهنده ساختار آمورف در پوششهای اولیه بود که با افزایش ضخامت پوشش و حضور نقایص بیشتر مقداری از نانوکریستالها تشکیل شد. علاوه بر آن با اعمال شرایط عملیات حرارتی تشکیل، رشد و ادغام نانوکریستالها و تشکیل یک ساختار پلیکریستال را شاهد هستیم. نانوکریستالها منجر به تشکیل پیوندهای sp2 و sp3شده که همین خود باعث افزایش هدایت الکتریکی پوشش در این شرایط شد و این افزایش هدایت الکتریکی با افزایش ضخامت پوشش بر روی نمونه‌های موردبررسی به شدت افزایش یافت.

Upgrade to premium to download articles

Already have an account?login

similar resources

استحاله و تغییر هستی‌شناختی در آیین‌های گذار

آیین در واقع بیان نمادین و گاهی رازآمیز ارزش‌های فرهنگی و دینی یک جامعه است. ساختار آیین متأثر از اسطوره‌ها و باورهای متافیزیکی و گاهی مادی مردمی است که در طول سالیان متمادی به آن عمل کرده و آنرا حفظ می‌کنند. از مهم‌ترین و متداول‌ترین آیین‌های رایج جوامع بشری آیین گذار است. آیینی که مقاطع مهم زندگی انسان را به او گوشزد کرده و به مرور نقش‌ها و مسؤولیت‌های جدید و متعالی‌تری را به او می‌سپارد. فرد...

full text

ویژگی های نانو ساختار نقره/اکسید سیلیکون

full text

تأثیر پارامترهای مختلف عملیات حرارتی بر روی استحاله های غیر ایزوترمال فولاد زنگ نزن مارتنزیتی AISI 420

full text

بررسی وقوع استحاله فازی در آلیاژ Ti-6242 و تعیین دمای استحاله آن

هدف از پژوهش حاضر تعیین دمای استحاله‌ی دو آلیاژ Ti-6242 و بررسی تأثیر مقادیر مختلف عناصر بر پایداری فازهای آلفا و بتا با استفاده از بررسی‌های ریزساختاری و آزمایش پیچش گرم است. تعیین دمای استحاله‌ی بتا نقش مهمی در طراحی دقیق عملیات ترمومکانیکی و عملیات حرارتی در آلیاژهای تیتانیم دارد و از این‌رو عامل تأثیرگذاری بر خواص مکانیکی آلیاژهای دوفازی تیتانیم می‌باشد. برای این منظور، آزمایش پیچش گرم با ن...

full text

استحاله و تغییر هستی شناختی در آیین های گذار

آیین در واقع بیان نمادین و گاهی رازآمیز ارزش های فرهنگی و دینی یک جامعه است. ساختار آیین متأثر از اسطوره ها و باورهای متافیزیکی و گاهی مادی مردمی است که در طول سالیان متمادی به آن عمل کرده و آنرا حفظ می کنند. از مهم ترین و متداول ترین آیین های رایج جوامع بشری آیین گذار است. آیینی که مقاطع مهم زندگی انسان را به او گوشزد کرده و به مرور نقش ها و مسؤولیت های جدید و متعالی تری را به او می سپارد. فرد...

full text

تاثیر شرایط عملیات حرارتی بر خواص کششی فولاد سه فازی

در این تحقیق، ابتدا نمونه های فولاد 4140 در دمای 850 درجه سانتی گراد به مدت 1 ساعت حرارت داده شدند. سپس در دمای 720 درجه سانتی گراد به مدت سه دقیقه نگهداری و به حمام نمک با دماهای متفاوت 380، 400، 420 و 450 درجه سانتی گراد به مدت 4 دقیقه منتقل و در نهایت در آب کوئنچ گردیدند. بر اساس نتایج تست کشش با افزایش دمای حمام نمک (دمای آستمپرینگ) مقادیر استحکام تسلیم، استحکام کششی و ازدیاد طول کاهش یافت....

full text

My Resources

Save resource for easier access later

Save to my library Already added to my library

{@ msg_add @}

Journal title

علوم و مهندسی سطح ایران

volume 13 issue 33

pages 77- 87

publication date 2017-11-22

unfollow

{@ msg @}

By following a journal you will be notified via email when a new issue of this journal is published.

Keywords

فیلم آمورف سیلیکون نانوکریستال سیلیکون زبری سطح عملیات حرارتی هدایت الکتریکی

Hosted on Doprax cloud platform doprax.com